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 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國內共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。特種氣體應用于國民經(jīng)濟的很多行業(yè)， 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展， 無論在氣體品種上，還是在數(shù)量上， 都以的速度發(fā)展，特種氣體多少錢， 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場的需求。

 特種氣體應用于國民經(jīng)濟的很多行業(yè)，特種氣體供應商， 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展， 無論在氣體品種上，還是在數(shù)量上， 都以的速度發(fā)展， 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場的需求。電子特種氣體種類多，特種氣體價格，應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導體制程工藝中覆蓋廣泛，福州特種氣體，因此成為衡量半導體技術的核心產(chǎn)品。自80年代1開始，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。

 特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻，匯總起來共有227種，可分成五個類別。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔， 避免陽光直射， 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣， 顯示適當?shù)奈ｋU標記(例如、、有毒等) 。 　包裝標志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無　水，管路、閥門和容器不用時應密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離。

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